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    工业型原子力显微镜

    型 号FM-NanoviewLS-AFM

    更新时间2019-01-30

    所属分类工业型原子力显微镜

    访问次数907

    产品描述:工业型原子力显微镜 FM-NanoviewLS-AFM◆ 实现样品保持不动,探针移动扫描的原子力显微镜;◆ 采用闭环三轴独立压电平移式扫描器,大范围高精度扫描;◆ 样品尺寸、重量基本不受限制,特别适合集成电路晶圆等超大样品检测;◆ 龙门架式扫描头设计,大理石底座,真空吸附式载物台;◆ 超大行程二维电动样品移动台,快速选择感兴趣的样品区域;◆ 高倍光学定位系统,实现探针

    产品概述

    工业型原子力显微镜 
    FM-NanoviewLS-AFM
    ◆ 实现样品保持不动,探针移动扫描的原子力显微镜;
    ◆ 采用闭环三轴独立压电平移式扫描器,大范围高精度扫描;
    ◆ 样品尺寸、重量基本不受限制,特别适合集成电路晶圆等超大样品检测;
    ◆ 龙门架式扫描头设计,大理石底座,真空吸附式载物台;
    ◆ 超大行程二维电动样品移动台,快速选择感兴趣的样品区域;
    ◆ 高倍光学定位系统,实现探针

    工业型原子力显微镜技术参数

    ◆ 基本工作模式:接触、轻敲、F-Z力曲线测量、RMS-Z曲线测量、摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力和静电力
    ◆ 选配工作模式:Profile线快速测量模式
    ◆ 最大样品尺寸:Φ≥300mm,H≥50mm
    ◆ 闭环扫描范围:XY向100um,Z向10um
    ◆ 闭环扫描分辨率:XY向0.2nm,Z向0.05nm
    ◆ 样品移动范围:300mm×300mm
    ◆ 辅助光学定位:10X物镜,光学分辨率1um(可选配20X,光学分辨率0.8um)
    ◆ 气动式减震台,减震频率0.5Hz
    ◆ 噪音水平:<0.1nm
    ◆ 扫描速率0.6Hz~4.34Hz,扫描角度0~360°
    ◆ 扫描控制:XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A
    ◆ 数据采样:14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样
    ◆ 反馈方式:DSP数字反馈
    ◆ 反馈采样速率:64.0KHz
    ◆ 通信接口:USB2.0/3.0
    ◆ 运行环境:WindowsXP/7/8/10操作系统

    工业型原子力显微镜 应用范围

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